[14a-502-1~10] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[14a-502-1] [講演奨励賞受賞記念講演] デバイス化に向けたSiドープα-Ga₂O₃薄膜の作製

〇内田 貴之¹、神野 莉衣奈¹、竹本 柊¹、金子 健太郎¹、藤田 静雄¹ (1.京大院工)

キーワード：酸化ガリウム、パワーデバイス