[14a-502-1~10] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

△ [14a-502-6] β-(Al_xGa_1-x)₂O₃/Ga₂O₃ヘテロ接合界面におけるキャリア閉じ込めの観察

〇加藤 勇次¹、大島 孝仁¹、河野 直士¹、倉又 朗人^2,3、山腰 茂伸^2,3、藤田 静雄⁴、大石 敏之¹、嘉数 誠¹ (1.佐賀大学、2.タムラ製作所、3.ノベルクリスタルテクノロジー、4.京都大学)

キーワード：Ga₂O₃