[14a-503-1~12] 15.4 III-V族窒化物結晶

[14a-503-2] スパッタ法を用いたサファイア基板上へのAlN堆積

〇山木 佑太¹、岩山 章²、三宅 秀人^1,2、平松 和政¹、小松 永治³、寺山 暢之³ (1.三重大工、2.地域イノベ、3.神港精機)

キーワード：窒化アルミニウム、スパッタリング法