[14a-512-1~11] 3.7 レーザープロセシング

[14a-512-3] CuO/NiO混合ナノ粒子を用いたpn熱電パターンのレーザ還元選択描画

〇溝尻 瑞枝¹、櫻井 淳平¹、秦 誠一¹ (1.名大院工)

キーワード：フェムト秒レーザ、レーザ還元、熱電膜

フェムト秒レーザを用いてCuO/NiO混合ナノ粒子の還元・酸化を制御することにより，pn熱電パターンの選択描画を行った．パルスエネルギーを一定とし，描画速度を1-20 mm/sとしたとき，描画速度の減少に伴いCu-Ni合金の生成が減少し，Cu2OやNiOの酸化物の生成が増加した．ゼーベック係数は，描画速度5-20 mm/sではn型，1 mm/sではp型の熱電パターンが形成された．レーザ描画速度の制御により，pn型熱電パターンの選択描画が可能であることを明らかにした．