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[14a-F203-10] IR-FZによるルチル単結晶の育成における集光位置の移動効果
キーワード:赤外線集中加熱浮遊帯溶融法、ルチル、大口径化
赤外線集中加熱浮遊帯溶融法によるルチル単結晶の育成に対する回転楕円鏡の集光位置の移動効果を調べた結果を報告する。集光位置が原料と育成結晶の回転中心である従来の配置では原料を大口径化するほど溶融帯の安定保持が困難になった。集光位置を溶融帯表面に近づく方向に2~4mm程度移動させると溶融帯保持が容易になった。しかし、移動させる距離が大きくなるに従って育成開始時の種付けは困難になった。これらをはじめ回転楕円鏡の集光位置の移動効果を報告する。