[14a-F203-1~13] 15.1 バルク結晶成長

[14a-F203-13] X線トポグラフィーを用いたLiTaO₃結晶に存在する欠陥の三次元解析

〇窪内 裕太¹、梶ヶ谷 富男¹、杉山 正史¹、川村 祥太郎¹、大野 裕²、米永 一郎² (1.住友金属鉱山、2.東北大金研)

キーワード：結晶、タンタル酸リチウム、リネージ

Cz法で育成したLiTaO₃結晶に存在するリネージの分布を、基板のX線トポグラフィー画像の三次元構築により評価した。