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[14a-F201-10] ヴォロンコフモデルへのコメント(3)
キーワード:シリコン、点欠陥、結晶成長
シリコンの結晶成長欠陥に関するヴォロンコフモデルは、高品質のシリコン結晶を育成する条件選択に重要な指針を与える。しかし、彼が仮定している熱平衡点欠陥は、ショットキー欠陥及びフレンケル対という矛盾した性質を持っている。実験では、それはショットキー欠陥である。その性質を用いて、ヴォロンコフモデルを書き換えた。そして、空孔と格子間原子の対消滅が有効に起こる成長条件を求めた。