[14a-F204-1~12] 12.7 Biomedical Engineering and Biochips

[14a-F204-7] Virtual Cathode Display for Single Cell Analysis: Intracellular Mechanical Strain Microscopy and Pinpoint Electroporation

〇Takayuki Hoshino¹, Hiroki Miyazako¹, Moto Yoshioka¹, Akira Wagatsuma¹, Kunihiko Mabuchi¹ (1.IST, UTokyo)

Keywords:inverted-electron beam lithography, virtual cathode display, single cell analysis

誘電体であるSiN膜 (厚さ100 nm) 上に低加速電子線を走査・帯電させることで任意の位置に仮想的な電極を形成することができる．ブラウン管ではターゲット面に蛍光像が投影されるのと同様に誘電体のSiN膜上にはナノサイズの任意の電極パタンが高速に切り替え投影されるので，これをバーチャル電極ディスプレイと呼び，本ディスプレイ上へ播種・培養した単一接着細胞の機能解析に応用した．