[14p-211-1~17] 3.9 Terahertz technologies

[14p-211-1] Signal Detection in the Large-Amplitude Nonlinear Oscillation Region of GaAs Doubly Clamped MEMS Beam Structures for Terahertz Detection

〇(M2)Suguru Hosono¹, Ya Zhang¹, Naomi Nagai¹, Kazuhiko Hirakawa^1,2 (1.IIS, Univ. of Tokyo, 2.INQIE, Univ. of Tokyo)

Keywords:terahertz detector, MEMS, nonlinear oscillation

我々はMEMS両持ち梁構造を用いた室温動作テラヘルツボロメータを提案している。MEMS両持ち梁構造の高いQ値を利用して、両持ち梁にTHz電磁波が入射した際の温度上昇を、梁の共振周波数の変化として高感度に読み取るものである。本発表では、非線形振動領域における検出性について報告する。線形領域を使った検出に比べ、非線形領域を使った検出ではNEPが15倍向上し、高感度検出が可能であることが確認された。