[14p-211-1~17] 3.9 テラヘルツ全般

[14p-211-1] 大振幅非線形振動領域におけるテラヘルツ検出用GaAs MEMS両持ち梁構造ボロメータの信号検出

〇(M2)細野 優¹、張 亜¹、長井 奈緒美¹、平川 一彦^1,2 (1.東大生研、2.東大ナノ量子機構)

キーワード：テラヘルツ検出器、MEMS、非線形振動

我々はMEMS両持ち梁構造を用いた室温動作テラヘルツボロメータを提案している。MEMS両持ち梁構造の高いQ値を利用して、両持ち梁にTHz電磁波が入射した際の温度上昇を、梁の共振周波数の変化として高感度に読み取るものである。本発表では、非線形振動領域における検出性について報告する。線形領域を使った検出に比べ、非線形領域を使った検出ではNEPが15倍向上し、高感度検出が可能であることが確認された。