[14p-302-1~17] 12.4 有機EL・トランジスタ

[14p-302-14] クレイポリマーナノコンポジット膜を用いて製作した標準ガスバリアフィルムの水蒸気透過特性

〇吉田 肇¹、蛯名 武雄²、新井 健太¹、小畠 時彦¹、石井 亮²、相澤 崇史²、鈴木 麻美² (1.産総研工学計測、2.産総研化学プロセス)

キーワード：有機EL、ガスバリア、水蒸気透過度

有機ELデバイスの製品寿命を確保するため、水蒸気透過度（WVTR）が10^​-6 g m^-2​ day^​-1のフィルムが必要と言われている。しかし、WVTR測定の信頼性を確認するための標準ガスバリアフィルムについては、市販品では10^​-2 g m^-2​ day^​-1程度が下限という課題があった。我々は昨年の発表で、クレイポリマーナノコンジット膜を穴の開いたステンレス薄板に直接接合することにより、10^​-6 g m^-2​ day^​-1>台の標準ガスバリアフィルムを製作できることを示した。今回、膜厚を薄くすることによる測定時間の短縮や、製作の再現性、異なる測定方法で得られた結果の比較について報告する。