2017年第64回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

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[14p-317-1~10] 1.3 新技術・複合新領域

2017年3月14日(火) 13:15 〜 16:00 317 (317)

松谷 晃宏(東工大)

13:45 〜 14:00

[14p-317-3] Deep-RIEとXeF2気相エッチングによるVOx/Si3N4/SiO2メンブレンの製作

前田 幸平1、西岡 國生2、ヴァン・ニュ ハイ1、松谷 晃宏2、立木 隆1、内田 貴司1 (1.防衛大電気電子、2.東工大マイクロプロセス)

キーワード:有機金属分解法、VOx薄膜、ボロメータ