[14p-317-1~10] 1.3 Novel technologies and interdisciplinary engineering

[14p-317-6] Application of solution-processed silicon-nanocrystal film in gas sensor

〇Shinya Kano¹, Masato Sasaki¹, Minoru Fujii¹ (1.Kobe Univ.)

Keywords:silicon nanocrystal, gas sensor, humidity sensor

半導体ナノ結晶コロイドを塗布して半導体薄膜を形成する手法は、大面積電子デバイスの新しい作製法として注目されている。ナノ材料特有の性質である大きな比表面積を利用すると、高感度な薄膜ガスセンサを構築できる。我々のグループでは、ホウ素(B)とリン(P)を高濃度に含んだシェル層で保護された、溶媒中に均一分散するシリコン(Si)ナノ結晶コロイドを開発している。これまでに我々は、このSiナノ結晶塗布薄膜の真空中における電気伝導度が、大気中と比較して大きく低下することを報告してきた。本発表では、Siナノ結晶塗布薄膜の電気伝導特性のガス雰囲気依存性を評価し、ガスセンサへの応用可能性を検証することを目的とする。