[14p-317-1~10] 1.3 新技術・複合新領域

[14p-317-6] シリコンナノ結晶塗布薄膜のガスセンサへの応用

〇加納 伸也¹、佐々木 誠仁¹、藤井 稔¹ (1.神戸大院工)

キーワード：シリコンナノ結晶、ガスセンサ、湿度センサ

半導体ナノ結晶コロイドを塗布して半導体薄膜を形成する手法は、大面積電子デバイスの新しい作製法として注目されている。ナノ材料特有の性質である大きな比表面積を利用すると、高感度な薄膜ガスセンサを構築できる。我々のグループでは、ホウ素(B)とリン(P)を高濃度に含んだシェル層で保護された、溶媒中に均一分散するシリコン(Si)ナノ結晶コロイドを開発している。これまでに我々は、このSiナノ結晶塗布薄膜の真空中における電気伝導度が、大気中と比較して大きく低下することを報告してきた。本発表では、Siナノ結晶塗布薄膜の電気伝導特性のガス雰囲気依存性を評価し、ガスセンサへの応用可能性を検証することを目的とする。