[14p-317-1~10] 1.3 Novel technologies and interdisciplinary engineering

[14p-317-7] Measurement of GeO layer thickness of Pd/GeO/Ge diode hydrogen gas sensor by XRR method

〇Sumio Okuyama¹, Atsushi Tanaka¹, Sota Obara¹, Koichi Matsushita¹ (1.Yamagata Univ.)

Keywords:hydrogen, germanium, palladium

Pd/GeO/Geダイオード型水素ガスセンサに用いるGeO薄膜の厚さをX線反射率法で測定した．その結果，GeOの厚さは成長温度400℃では約7nm，300℃では約4nmであることがわかった．この値はGeOのエッチングにより測定したあたいとは大きく異なった値である．