[14p-318-1~9] 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

[14p-318-7] AIC法によるSnドープGe/絶縁膜の高速低温成長

〇佐々木 雅也¹、佐道 泰造¹、宮尾 正信¹ (1.九大院システム情報)

キーワード：半導体