[14p-412-1~18] 6.2 カーボン系薄膜

[14p-412-10] PドープダイヤモンドのXAFS計測

〇鹿田 真一¹、山口 浩司¹、藤原 明比古¹、為則 雄祐²、八尋 惇平³、国須 正洋³、山田 貴壽⁴ (1.関学大理工、2.高輝度光科研、3.東レRC、4.産総研)

キーワード：ダイヤモンド、Pドープ、XAFS

Pドープn型ダイヤモンド膜のP のK端に関して、SR光を用いて XAFS測定を行い、局所構造を推定した。主ピークが2147eVに、2150eV等のピークが観測された。シミュレーションとの対比で主ピークは格子間、2150eVは格子位置と推定された。併せて実施したEXAFSでも同様の結果が推定された。