[14p-412-1~18] 6.2 カーボン系薄膜

[14p-412-16] ダイヤモンドの高速重イオン誘起過渡電流測定とポーラリゼーション効果

〇佐藤 真一郎¹、牧野 高紘¹、大島 武¹、Vizkelethy Gyorgy²、神谷 富裕³ (1.量研機構、2.サンディア国立研、3.群馬大)

キーワード：単結晶ダイヤモンド薄膜、放射線検出器、イオン誘起過渡電流

次世代の半導体粒子検出器材料として期待されている単結晶ダイヤモンドに対し，高速重イオンが入射した際の過渡電流を観測した(TRIBIC)．信号強度および電荷収集量はイオン入射の繰り返しによって徐々に減少し，また，電荷収集時間は長くなった．この現象は，深い準位に捕獲されたキャリアがダイヤモンド中の電界強度分布を変化させる「ポーラリゼーション効果」に起因しており，Shockley-Ramo理論によって概ね説明できることがわかった．