[14p-412-1~18] 6.2 Carbon-based thin films

△ [14p-412-18] Relationship between dislocation and etch pit in (111) diamond single crystal.

〇Satoshi Masuya¹, Makoto Kasu¹ (1.Saga Univ.)

Keywords:diamond, X-ray topography, dislocation

ダイヤモンド単結晶においてエッチピット法は貫通転位の観察手法として広く用いられている．これまで(001)面結晶で転位の種類によるピット形状の変化が報告されているが，(111)面結晶におけるエッチピットの報告はあまりされていない．本研究では(111)面ダイヤモンド単結晶においてX線トポグラフィーとエッチピット法を用いて，転位とピットの対応について調べ，バーガーズベクトルによってエッチピット形状が変化することがわかった．