[14p-412-1~18] 6.2 カーボン系薄膜

[14p-412-4] フィールドプレート構造の導入による水素終端表面ダイヤモンド電界効果型トランジスタの高耐圧化の検討

〇(M1)岡村 卓弥¹、岸本 茂¹、大野 雄高^1,2 (1.名大工、2.名大未来工)

キーワード：ダイヤモンド、フィールドプレート、水素終端表面