[14p-419-1~16] 6.3 酸化物エレクトロニクス

△ [14p-419-11] PLD法で作製された(Ba,La)SnO₃薄膜におけるカチオン組成変調とその輸送特性への影響

〇尾崎 祐介¹ (1.京大化研)

キーワード：透明導電性酸化物

ペロブスカイト構造を持つSn酸化物BaSnO₃は、高移動度を持つ透明導電体として注目されている。本研究では、PLD法で作製した(Ba,La)SnO₃エピタキシャル薄膜に着目した。薄膜作製時のレーザーフルエンスの変化によって導入されるカチオン組成の変調が、薄膜試料の輸送特性に与える影響を調べたので報告する。