[14p-419-1~16] 6.3 Oxide electronics

△ [14p-419-11] Cation off-stoichiometry in PLD-grown (Ba,La)SnO₃ thin films and its influence on their transport properties

〇Yusuke Ozaki¹ (1.ICR Kyoto Univ.)

Keywords:transparent conductive oxide

ペロブスカイト構造を持つSn酸化物BaSnO₃は、高移動度を持つ透明導電体として注目されている。本研究では、PLD法で作製した(Ba,La)SnO₃エピタキシャル薄膜に着目した。薄膜作製時のレーザーフルエンスの変化によって導入されるカチオン組成の変調が、薄膜試料の輸送特性に与える影響を調べたので報告する。