2017年第64回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

6 薄膜・表面 » 6.3 酸化物エレクトロニクス

[14p-419-1~16] 6.3 酸化物エレクトロニクス

2017年3月14日(火) 13:30 〜 18:00 419 (419)

福地 厚(北大)、小塚 裕介(東大)

17:15 〜 17:30

[14p-419-14] 反応性コ・スパッタ法によるZn-In-O-N(ZION)の成膜

〇原 智彦1、賈 軍軍1、中村 新一1、重里 有三1 (1.青学大理工)

キーワード：ZnInON、酸窒化物、バンドギャップ