[14p-419-1~16] 6.3 酸化物エレクトロニクス

△ [14p-419-16] Nd:YAG固体レーザーの5倍波(波長 213 nm)用いたSrTiO₃(100)基板上LaAlO₃薄膜のパルスレーザー堆積

〇(B)中村 直人¹、杉山 一生¹、清水 亮太¹、一杉 太郎^1,2 (1.東工大物質理工、2.東北大AIMR)

キーワード：酸化物エレクトロニクス、パルスレーザー堆積法