[14p-419-1~16] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[14p-419-4] パルスレーザー堆積/非接触原子間力顕微鏡複合装置によるLaAlO₃(100)表面の観察

〇勝部 大樹¹、山下 隼人^1,2、阿保 智¹、若家 冨士男¹、阿部 真之¹ (1.阪大院基礎工、2.JST さきがけ)

キーワード：金属酸化物、表面、非接触原子間力顕微鏡