[14p-423-1~14] CS.4 7. コードシェアセッション：ビーム応用大分類

[14p-423-1] メタルレジストの反応機構に関する研究

〇(M1)石原 智志¹、山本 洋揮¹、Jelius Santillan²、井谷 俊郎²、古澤 孝弘¹ (1.阪大産研、2.株式会社先端ナノプロセス基盤開発センター)

キーワード：メタルレジスト