[14p-423-1~14] CS.4 7. Code-sharing Session: Beam Technology and Nanofabrication

[14p-423-7] Coarse-grain molecular dynamics simulation of lamellar phase of diblock copolymer in a bulk state

〇Toru Yamaguchi¹, Hirotaka Tanaka¹, Nicolas Clement¹, Aikira Fujiwara¹ (1.NTT BRL)

Keywords:Lithography, Block copolymer, Microphase separation

ブロック共重合体薄膜で形成されるミクロ相分離構造について、SEMやAFM等の観察領域と同程度の数ミクロンオーダーサイズでの秩序形成の理解を深めることを目的にして、ブロック共重合体薄膜に対する大規模粗視化分子動力学シミュレーションの適用可能性について基礎的な検討を行った。粒子A及び粒子Bそれぞれ3個ずつ直線状に結合したブロック共重合体A₃B₃のような単純なモデルであれば、少なくとも計算時間の観点から非現実的なシミュレーションではないことが分かった。