[14p-423-1~14] CS.4 7. コードシェアセッション：ビーム応用大分類

[14p-423-7] ブロック共重合体バルクラメラ相の粗視化分子動力学シミュレーション

〇山口 徹¹、田中 弘隆¹、ニコラ クレメント¹、藤原 聡¹ (1.NTT物性基礎研)

キーワード：リソグラフィ、ブロック共重合体、ミクロ相分離

ブロック共重合体薄膜で形成されるミクロ相分離構造について、SEMやAFM等の観察領域と同程度の数ミクロンオーダーサイズでの秩序形成の理解を深めることを目的にして、ブロック共重合体薄膜に対する大規模粗視化分子動力学シミュレーションの適用可能性について基礎的な検討を行った。粒子A及び粒子Bそれぞれ3個ずつ直線状に結合したブロック共重合体A₃B₃のような単純なモデルであれば、少なくとも計算時間の観点から非現実的なシミュレーションではないことが分かった。