[14p-424-1~16] CS.4 7. Code-sharing Session: Beam Technology and Nanofabrication

[14p-424-12] Field emission from carbon nanotubes in poor vacuum conditions

〇Masaru Irita^1,2, Satoshi Toma¹, Naoki Kamimura¹, Hitoshi Nakahara¹, Koji Asaka¹, Yahachi Saito¹, Satoru Hashimoto³, Takeshi Hashimoto³ (1.Grad. Sch. Eng., Nagoya Univ., 2.VBL, Nagoya Univ., 3.Meijo Nano Carbon Co.)

Keywords:field emission, carbon nanotube, plasma

本研究では、ブッシュ状多層カーボンナノチューブ膜と単層カーボンナノチューブ(SWNT)シート電子源を用い、真空度に依存した電界放出(FE)電流密度Jの観察評価を行った。カーボンナノチューブの場合、真空圧力10^-6や10^-1 PaにおいてもFEすることが可能である。また、SWNTシートの場合、放電しても壊れにくく、高いFE特性を示した。本研究成果より、新たな電子源の応用が期待される。