[14p-424-1~16] CS.4 7. コードシェアセッション：ビーム応用大分類

[14p-424-14] グラフェン表面電極を有するnc-Si弾道電子エミッタの電子放出特性の研究

〇小島 明¹、池上 尚克¹、須田 隆太郎²、越田 信義² (1.東北大学、2.東京農工大学)

キーワード：弾道電子、ナノシリコン、グラフェン

等倍型並列電子ビーム露光装置の電子源に使用されているナノシリコン(nc-Si)弾道電子エミッタの表面電極として、グラフェン膜を使用することにより放出電子エネルギー分散を半減した。nc-Si弾道電子エミッタの電子放出はnc-Si層における準弾道伝導機構に基づいており、表面電極層におけるホットエレクトロンのエネルギー散逸が抑制された結果、nc-Si層における本来の弾道伝導特性が顕在化したことを示唆している