[14p-424-1~16] CS.4 7. Code-sharing Session: Beam Technology and Nanofabrication

[14p-424-2] Li analysis of Li-compounds using REELS with HSA

〇Noboru Taguchi¹, Akihiro Tanaka², Konomi Yoshida², Kenichi Tsutsumi², Yasushi Maeda¹, Shingo Tanaka¹ (1.AIST RIECEN, 2.JEOL)

Keywords:EELS, Electron Microscopy, Lithium

Li元素の分析は、リチウムイオン電池開発等への応用が考えられ、特に、電極の大きさレベル(umオーダー)の視野で試料を評価可能な、SEMベースのLi分析手法を検討している。本研究では、より精度の高い化学状態分析を実現する観点から、エネルギー分解能により優れる静電半球型アナライザ(HSA）を用いた電子分光スペクトル取得を検討し、Li化合物中におけるLiスペクトル評価への有効性を検討した。