[14p-424-1~16] CS.4 7. コードシェアセッション：ビーム応用大分類

△ [14p-424-6] 単一カーボンナノチューブ電子源を用いた小型X線顕微鏡の開発と性能評価

〇山崎 慎太郎¹、勝山 翔太¹、入田 賢^1,2、中原 仁¹、村田 英一³、大野 輝昭⁴、安坂 幸師¹、齋藤 弥八¹ (1.名大院工、2.名大VBL、3.名城大院理工、4.テクネックス工房)

キーワード：X線顕微鏡、カーボンナノチューブ

本研究では、単一CNT電子源を搭載した小型FE-SEM及びX線顕微鏡を開発し、デカナノメータ分解能を目指す。X線発生源のターゲットにはAuを使用し、ポリスチレンラテックス球のSEM像及びAuメッシュのX線像の撮影を行った。得られたSEM像とX線像のラインプロファイルより、それぞれの分解能は9 nmと280 nmであった。X線源のサイズを小さくし、サンプルとX線源間の距離を近づけることで更なる分解能向上が期待できる。