[14p-424-1~16] CS.4 7. Code-sharing Session: Beam Technology and Nanofabrication

△ [14p-424-6] Development and Performance Evaluation of Small-size X-ray Microscope with a Single Carbon Nanotube Emitter

〇Shintaro Yamazaki¹, Shoto Katsuyama¹, Masaru Irita^1,2, Hitoshi Nakahara¹, Hidekazu Murata³, Teruaki Ohno⁴, Koji Asaka¹, Yahachi Saito¹ (1.Nagoya Univ., 2.VBL Nagoya Univ., 3.Meijo Univ., 4.Technex Lab Co)

Keywords:X-ray Microscope, Carbon Nanotube

本研究では、単一CNT電子源を搭載した小型FE-SEM及びX線顕微鏡を開発し、デカナノメータ分解能を目指す。X線発生源のターゲットにはAuを使用し、ポリスチレンラテックス球のSEM像及びAuメッシュのX線像の撮影を行った。得られたSEM像とX線像のラインプロファイルより、それぞれの分解能は9 nmと280 nmであった。X線源のサイズを小さくし、サンプルとX線源間の距離を近づけることで更なる分解能向上が期待できる。