[14p-502-1~15] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[14p-502-3] VB、FZ、EFG法によるβ-Ga₂O₃単結晶の光吸収、電気的特性評価

〇中村 貴浩¹、内山 雄太¹、太子 敏則¹、干川 圭吾¹ (1.信州大工)

キーワード：酸化ガリウム、垂直ブリッジマン(VB)法