[14p-502-1~15] 21.1 Joint Session K

[14p-502-8] Solid-phase crystallization of amorphous V-doped ZnO film on Al₂O₃(11-20) substrate

〇Kenta Shito¹, Akihiro Watanabe², Hioshi Chiba^2,3, Tomoyuki Kawashima², Katsuyoshi Washio² (1.Tohoku Univ., 2.Grad.Sch.Eng.Tohoku Univ., 3.JSPS Research Fellow DC)

Keywords:zinc oxide, crystal growth, a face sapphire

c面サファイア基板上に堆積した擬似アモルファスV添加ZnO（pa-VZO）薄膜の固相成長（SPC）について報告してきた。このpa-VZO薄膜はシード層となる成長初期配向層を有しており、その配向性はSPC後の薄膜配向性に大きく影響すると考えられる。本報告では、c面より格子不整合度の小さいa面サファイア(Al₂O₃(11-20))基板を用いることで、シード層の配向性向上とそれに伴うSPC-VZO薄膜の高配向化を検討した。