[14p-503-1~8] 窒化物半導体特異構造の科学　～発光再結合の解明と制御～

[14p-503-6] m面AlInNエピタキシャルナノ構造を用いた偏光光源の可能性

〇秩父 重英¹、小島 一信¹、上殿 明良²、佐藤 義孝³ (1.東北大多元研、2.筑波大数物系、3.双葉電子工業)

キーワード：窒化アルミニウムンジウム、時間分解フォトルミネッセンス

混ざりにくいAl_1-xIn_XN混晶薄膜をm面GaN基板上にMOVPE成長させて蛍光表示管に実装し、深紫外線から緑色までの小型偏光光源を形成した。AlInN薄膜はある膜厚以上ではナノボード構造体となり、非輻射再結合中心を形成する空孔欠陥濃度も高いがバンドに付随する発光を呈す。発表ではこの理由について議論する。