[14p-512-1~15] 3.7 レーザープロセシング

[14p-512-1] [講演奨励賞受賞記念講演] フェムト秒レーザーによるシリコン表面へのプラズモニック近接場の励起とアブレーション形状変化の観測

〇萩谷 将人¹、宮地 悟代¹ (1.東京農工大)

キーワード：フェムト秒レーザープロセス、表面プラズモンポラリトン、シリコン