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△ [14p-512-9] 液中レーザー溶融法によるシリコンサブミクロン球状粒子生成に及ぼすフッ酸処理の効果
キーワード：シリコン、液中レーザー溶融法、サブミクロン球状粒子
液体中に粒子を分散させたコロイド溶液にパルスレーザーを照射することによって，さまざまな材料のサブミクロンサイズの球状粒子を作製することができるが，シリコンの球状粒子合成に関する報告は限られている．粒子生成条件を見直すことによって，従来より低いフルーエンスでの粒子生成に成功したが，粒子以外の膜状物質が同時に生成していた．原料にフッ酸を用いて酸処理することによって，膜状物質の生成を防ぐことができた．