[14p-514-1~8] 1.6 超音波

[14p-514-8] LiTaO₃薄板と水晶基板の接合によるリーキー系SAWの高結合化

〇垣尾 省司¹、五味 将史¹、林 純貴¹、須崎 遥²、米内 敏文³、岸田 和人³、水野 潤² (1.山梨大、2.早大、3.日本製鋼所)

キーワード：リーキー弾性表面波、接合構造、水晶

LiTaO₃(LT)薄板と水晶基板を接合した試料を作製し，リーキーSAW(LSAW)と縦型LSAWの電気機械結合係数K²と共振特性を実験的に評価した．LT単体試料のK²と比較して，LSAW では1.6倍(9.6%, 規格化板厚0.44)，縦型LSAWでは2.4倍(8.5%, 規格化板厚=0.25)に増加した．共振特性においてアドミタンス比や比帯域幅の増加も観測された．