[14p-B5-1~11] 15.1 バルク結晶成長

[14p-B5-6] EFG法による柱状β-Ga₂O₃結晶成長

〇田中 天童¹、干川 圭吾² (1.日新技研、2.信州大学)

キーワード：酸化ガリウム、EFG、結晶成長

我々は、EFG法結晶育成装置の開発およびそれによるβ-Ga2O3結晶育成条件等を検討している。本発表では、HF加熱法、Irるつぼ・ダイを適用して、CO2ガス雰囲気炉中で、円柱状β-Ga2O3結晶成長を行ったので紹介する。