17:00 〜 17:15
[14p-E205-13] GaAs基板中のドーパント原子の選択性:自作NMR装置による観察
キーワード:核磁気共鳴法、ドープされたGaAs基板、サイト選択性
GaAs基板にドープされたSiやCrなどの原子が,どこを置換しているかは,実験的に明らかにされていない。核スピンをプローブとする核磁気共鳴法は最適の手法であるが,市販のNMR装置ではドーパントのサイトの知見は得られてない。今回我々は,ゼロから組み上げてきたNMR装置に独自の工夫を施すことで,GaAs基板にドープされたSiおよびCrの位置を実験的に同定することに成功した。