[14p-F201-1~14] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[14p-F201-14] シリコン結晶中の炭素濃度測定の感度と規格適用濃度と検出下限
(2)｢検出下限」の用法と科学的根拠

〇井上 直久¹ (1.研究公正スタデイグループ)

キーワード：シリコン結晶、炭素不純物濃度測定、赤外吸収

シリコン結晶中の炭素濃度測定で赤外吸収は唯一の測定法規格となっている。前回から報告しているように他の技術の研究グループが「検出下限」として実際より悪い値を主張し続けている問題について報告する。