[14p-F201-1~14] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[14p-F201-6] 発光活性化後の液体窒素温度フォトルミネッセンス測定によるSi結晶中炭素不純物の定量

〇田島 道夫¹、木内 広達¹、樋口 史仁¹、小椋 厚志¹ (1.明治大)

キーワード：フォトルミネッセンス、不純物定量、シリコン