[14p-F201-1~14] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[14p-F201-8] 電子線照射前処理を用いたSi基板中の微量炭素測定 DLTS/室温PL

〇江里口 和隆¹、三次 伯知¹、佐俣 秀一¹ (1.株式会社 SUMCO)

キーワード：Si基板、微量炭素、DLTS