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[14p-F202-2] Siロッド型熱輻射光源への透明酸化物コーティングによる耐熱性向上(II)
キーワード:フォトニック結晶、熱輻射制御、耐熱性
我々は熱光発電への応用に向けてSiロッド型フォトニック結晶構造を作製し、1000°Cにおいて極めてコントラストの高い選択的近赤外熱輻射スペクトルを発生させることに成功している。さらなる効率および出力の向上には、より高い温度での動作が重要であり、それを達成する手法の一つとしてAl2O3の表面コーティングによる耐熱性の向上を検討してきた。今回、さらなる耐久性向上を目指してAl2O3の成膜条件を探索したので報告する。