[14p-F204-1~15] 12.7 医用工学・バイオチップ

[14p-F204-2] 高感度a-InGaZnO TFT pHセンサを用いた微小pH変化の検出

〇岩松 新之輔¹、竹知 和重²、阿部 泰¹、今野 俊介¹、矢作 徹¹、村上 穣¹、加藤 睦人¹、田邉 浩²、渡部 善幸¹ (1.山形県工技セ、2.NLTテクノロジー)

キーワード：pHセンサ、酸化物半導体、高感度