2017年第64回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

22 合同セッションM 「フォノンエンジニアリング」 » 22.1 合同セッションM 「フォノンエンジニアリング」

[14p-F206-1~13] 22.1 合同セッションM 「フォノンエンジニアリング」

2017年3月14日(火) 14:00 〜 17:45 F206 (F206)

粟野 祐二(慶大)、馬場 寿夫(JST)、宮崎 康次(九工大)

14:00 〜 14:15

[14p-F206-1] 自立薄膜の横方向熱伝導率測定

宮崎 康次1、栗山 洸1、矢吹 智英1、トランシャン ローラン1 (1.九州工大工)

キーワード:熱伝導率、薄膜、3オメガ法

薄膜の横方向熱伝導率を測定するため,Siウエハー上に窒化Si薄膜を作製し,Siを選択的エッチングにより取り除くことで,厚さ4ミクロンの窒化シリコン自立膜を作製した.作製した自立薄膜の面方向熱伝導率を3オメガ法により測定した.さらにビスマステルライド熱電半導体薄膜を窒化シリコン自立膜上に生成し,ビスマステルライド薄膜の面方向熱伝導率を得て,薄膜熱伝導率の異方性について考察した.