[14p-F206-1~13] 22.1 合同セッションM 「フォノンエンジニアリング」

[14p-F206-1] 自立薄膜の横方向熱伝導率測定

〇宮崎 康次¹、栗山 洸¹、矢吹 智英¹、トランシャン ローラン¹ (1.九州工大工)

キーワード：熱伝導率、薄膜、３オメガ法

薄膜の横方向熱伝導率を測定するため，Siウエハー上に窒化Si薄膜を作製し，Siを選択的エッチングにより取り除くことで，厚さ4ミクロンの窒化シリコン自立膜を作製した．作製した自立薄膜の面方向熱伝導率を3オメガ法により測定した．さらにビスマステルライド熱電半導体薄膜を窒化シリコン自立膜上に生成し，ビスマステルライド薄膜の面方向熱伝導率を得て，薄膜熱伝導率の異方性について考察した．