[14p-P1-1~25] 8 プラズマエレクトロニクス（ポスター）

[14p-P1-10] 裏面照射型粉体PLDによる機能性薄膜の作製Ⅱ

〇川崎 仁晴¹、大島 多美子¹、柳生 義人¹、猪原 武士¹、須田 義昭² (1.佐世保高専、2.石川高専)

キーワード：粉体ターゲット

粉体をそのままターゲットに用いて、マルチエレメント機能性薄膜の作製を行った。その結果、TiO₂の粉体をターゲットとして利用し、Arガス中で5 J/cm²レーザを下部から照射して発生させたプラズマの発光スペクトルを示す。結果から、発光スペクトル自身が非常に弱いことが判った。また、スペクトルはほぼすべてがAr原子の発光であり、アルゴンイオンやTi原子などの発光が確認出来なかった。