[14p-P1-1~25] 8 プラズマエレクトロニクス（ポスター）

[14p-P1-13] マルチホロー放電プラズマCVD下流におけるラジカル製膜速度と膜中クラスター混入量の動的振る舞い

〇都甲 将¹、小島 尚¹、毛屋 公孝¹、田中 和真¹、徐 鉉雄¹、板垣 奈穂¹、古閑 一憲¹、白谷 正治¹ (1.九州大学)

キーワード：水素化アモルファスシリコン太陽電池、プラズマCVD、ナノ粒子